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          聯盟宗旨與願景     近年來在消費性電子產品的帶動下,微感測器與致動器受到產學研界的高度重視,也投入大量的資金與人力進行相關技術的研發。台灣以優異的半導體產業環境,提供微機電產業良好的發展基礎與成長動能,而微感測器與致動器也被認為是擴展台灣半導體產業版圖的關鍵技術。由於微機電系統和元件具有機、電、熱、光、生醫功能多元化的特色,對傳統的半導體製造、封裝、和測試技術,也帶來許多新的挑戰。因此,國立清華大學在業界大力支持及「科技部」相關計畫補助下,主導推動「微感測器與致動器產學聯盟」(Micro Sensors and Actuators Technology Consortium, uSAT),以期整合學校與國家實驗室的資源和經驗,協助業界解決相關技術問題,提供設備的支援,技術的轉移,及人才的培育,以提升我國微感測器與致動器技術水準與國際競爭力。   「微感測器與致動器產學聯盟」成立於 2013 年 4 月,聯盟團隊成員除了多位在微感測器與致動器領域有豐富經驗的國立清華大學教授外,也邀請多位具有相關專長的國研院研究員和其他學校教授加入。簡言之,聯盟可提供的技術服務與人才培訓的範圍,涵蓋微感測器與致動器上中下游產業,包括設計、製造、封裝、乃至測試。國內微機電元件的設計開發以中小型企業為主,需要上下游產業密切的合作與互動,因此本聯盟期望能扮演技術支援與資源整合的角色,以減少設計與製造、封裝、測試間嘗試錯誤的時間及成本,並協助相關產業在技術密集、複雜的微機電領域中具有卓越的國際競爭力。
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    國立清華大學「微感測器與致動器產學聯盟」活動公告 l  時間:06/25/2026 (星期四) 下午 14:00-16:00 l  地點:國立清華大學工程一館 108 室   l   宗旨 2013 年多位在微感測器與致動器領域有豐富經驗的清大教授,在國科會的支持下推動「微感測器與致動器產學聯盟」(Micro Sensors and Actuators Technology Consortium, mSAT),希望透過整合學界與國家實驗室的資源和經驗,協助業界解決相關技術問題、提供設備的支援、技術的轉移、及人才的培育。 l   演講內容 (Abstract) Prof. Yoshikazu Hirai:介紹MEMS原子鐘的晶圓級微製造與封裝技術,探討微型化設計如何提升原子鐘精度、穩定性及量產能力,並說明其在通訊、導航與精密計時的應用。 Prof. Sang Won Yoon:探討新世代半導體封裝的熱管理技術,涵蓋功率模組至先進異質整合封裝,並分享智慧散熱設計於電動車、高功率電子及AI系統的應用。 Prof. Satoshi Konishi:介紹智慧微型手指機器人與觸覺顯微技術,結合MEMS與感測技術進行微尺度量測,並展示其在細胞操作、組織檢測及生醫領域的應用成果。    時間 (Time) 題目 (Title) 講員 (Speaker) 14:00-14:30 Wafer-Level Microfabrication Technologies for Alkali Vapor Cells Toward MEMS Atomic Clocks Prof. Yoshikazu Hirai (Kyoto University) 14:30-15:00 Toward Thermally Intelligent Semiconductor Packaging: From Power Modules to Advanced Integration Prof. Sang Won Yoon (Seoul National University) 5:00-15:30 Smart Micro-Fingers-Robot for a Tactile Microscope and Their Biomedical Applications Prof. Satoshi Konishi (Ritsumeikan University) 15:30-16:00 Coffee time and networking          l  參加對象:對微系統領域有興趣之業界及學研界人士 l  名    額:由於座位有限,名額僅 100 人  請於 06/23/2026 前上網報名 http://goo.gl/forms/yfaIfF44UY l  費    用:一律免費 l  聯絡方式: 林金慧 小姐  國立清華大學動機系   Email: ch.lin@mx.nthu.edu.tw  電話: (03) 574-2494  方維倫 講座教授  國立清華大學動機系  Email: fang@pme.nthu.edu.tw  電話: (03) 574-2923 李昇憲 講座教授  國立清華大學奈微所 Email: ssli@mx.nthu.edu.tw    電話: (03) 516-2401       主辦單位:國立清華大學「微感測器與致動器產學聯盟」 (網址: http://www.usat.org.tw/) SEMI Taiwan (網址:http://www.semi.org/ch/) 協辦單位:國立清華大學動機系、國立清華大學奈微所、國立清華大學工學院產學研合作聯盟  
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