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(民國106年6月23日)14:00~16:00專題演講:數位全息顯微鏡DHM在MEMS以及四維動態形貌測試中的應用
發佈日期:2017-05-17 14:57:33

 時間:6/23/2017 (星期五)14:00~16:00

 

地點:國立清華大學工程一館一樓R108 

 

演講內容 (Abstract)
本次活動邀請瑞士 Lyncée Tec公司,是一家創新推動擁有革命性專利技術『數位全息顯微術』 Digital Holographic Microscopy (DHM®),是目前高科技研發上,唯一能同時提供專業型透射式和反射式數位全息顯微技術的公司,期望藉由Lyncée Tec所擁有的技術啟發更多MEMS相關設計方案。DHM擁有與鐳射干涉一樣的縱向皮米級測量精度,同時得益於其非掃描全視場成像機制,DHM能夠在視頻速率30/秒下實現即時四維動態成像,利用超高速相機,甚至能達到1000/秒的抓取速率,遠超任何三維成像顯微系統,是全球最快光學三維/四維形貌動態輪廓儀!能夠實現對每個圖元點的三維同步即時跟蹤,在測量微系統與微機電系統MEMS的多維振動應用更具獨一無二的優勢。對於離面(Out-of-plane)運動的測量達到了MEMS都普勒鐳射測振儀(也被稱為MEMS分析儀)的精度,而對於面內(In-plane)運動測量,可達1奈米精度超越其他MEMS分析儀測量精度。
 
 
講員簡介 (Speaker Bio)

Dr. Shenqi Xie (謝申奇博士)
Title/Position
Sales Manager, Asian Marketing Division
Affiliation
Lyncée Tec SA - Innovation Park- PSE A - CH-1015 Lausanne - Switzerland.
Email
shenqi.xie@lynceetec.com

 

時間 (Time)
題目 (Title)
講員 (Speaker)
14:00-15:00
數位全息顯微鏡DHMMEMS以及四維動態形貌測試中的應用
謝申奇博士(Dr. Shenqi Xie)
15:00-16:00
Coffee time and實樣應用及Q&A
 

 
 
參加對象:對微系統領域有興趣之業界及學研界人士
    額:由於座位有限,名額僅 100
             請於06/21/2017前上網報名 http://goo.gl/forms/yfaIfF44UY
    用:一律免費
聯絡方式:林金慧小姐 國立清華大學動機系
                     Email: ch.lin@mx.nthu.edu.tw 
電話: (03) 574-2494
                     方維倫講座教授 國立清華大學動機系
                     Email: fang@pme.nthu.edu.tw 電話: (03) 574-2923
主辦單位:國立清華大學「微感測器與致動器產學聯盟」 (網址: http://www.usat.org.tw/)
SEMI Taiwan (網址:http://www.semi.org/ch/)
科技部https://www.most.gov.tw/
協辦單位:國立清華大學動力機械系、國立清華大學奈微所、國研院國家奈米元件實驗室、
國立清華大學工學院產學研合作聯盟
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